配套设备与实验服务 · MFC配气 · 配方联锁
多气氛质量流量控制系统
Multi-gas Mass Flow Control System
用于CVD/CVI、真空炉和气氛炉的多路气体计量、混合、吹扫与安全联锁。
质量流量控制系统MFC配气系统多气氛控制柜
NO. 38联系工程师讨论热场与装料配置
温度能力配套系统
工作环境多路工艺气体
技术方案按工艺条件配置
适用材料与工艺
适用材料与工艺
CVD/CVI气氛烧结真空炉
工程重点
工程重点
- 多路MFC精确计量
- 配方与程序联动
- 吹扫检漏和安全联锁
01
确认材料转变
明确原料、目标纯度/密度/性能、污染敏感元素与允许损耗。
02
确定工艺窗口
温度、升温速率、保温、压力、气氛、真空与冷却方式。
03
匹配产能与热区
单批装料量、有效区、均匀性和上下料节拍共同决定炉型。
04
形成技术方案
热场、炉体、电源、真空、气路、水冷、控制与安全联锁协同设计。
选型问答
选型前常见问题
需要先准备哪些信息？
材料名称、最高温度、有效区、单批装料量、气氛或真空、升温保温要求、污染控制要求和现场水电气条件。
为什么网站不直接给出固定价格？
高温炉价格由热区尺寸、温度、真空、气路、电源、自动化和安全边界共同决定。先完成工艺评估，报价才有比较价值。
工艺与配套系统
选型时请区分设计温度与持续工作温度；有效区、装料量、气氛、真空和公用工程条件需共同确认。
项目需求
把工艺条件发给工程师。
请说明现有设备、使用工况及配套需求。不确定的参数可先填写“待确认”，由工程师协助核对。